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華為光刻機是幹什麼用的

華為光刻機是幹什麼用的

華為光刻機是晶片製造的核心裝置之一。

光刻機在加工晶片的過程中,光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小後對映到矽片上,然後使用化學方法顯影,得到刻在矽片上的電路圖。

一般的光刻工藝要經歷矽片表面清洗烘乾、塗底、旋塗光刻膠、軟烘、對準曝光、後烘、顯影、硬烘、鐳射刻蝕等工序,經過一次光刻的晶片可以繼續塗膠、曝光,越複雜的晶片,線路圖的層數越多,也需要更精密的曝光控制過程。

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