矽的氣態氫化物 酷知社 經驗 1.99W 大中小設定文字大小 矽的氣態氫化物是甲矽烷。甲矽烷作為一種提供矽組分的氣體源，可用於製造高純度多晶矽、單晶矽、微晶矽、非晶矽、氮化矽、氧化矽、異質矽、各種金屬矽化物。甲矽烷廣泛應用於微電子、光電子工業， 用於製造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層， 並且是迄今世界上唯一的大規模生產粒狀高純度矽的中間產物。 TAG標籤：氣態 氫化物 #
